ETCHING
选择比、侧壁角度、负载效应。Bosch 循环里每一步的时长,都会刻在侧壁的扇贝纹上。
刻蚀年会员 解锁本工序全部 2 个模拟器,含全部参数、参数保存与导出。
刻蚀/钝化交替的时长比,决定扇贝纹深度与侧壁垂直度。
孔越细越深刻得越慢,同一片上的深度差从哪来。
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